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English- [技术交流]沸石转轮+RTO：半导体行业VOCs排放稳定≤20mg/m3的科技利器2025年07月22日 12:37
- 半导体产业作为尖端科技的核心，其生产过程中产生的挥发性有机物（VOCs）成分复杂、浓度波动大，对末端治理技术提出了极高要求。面对日益严苛的≤20mg/m3排放标准，沸石转轮吸附浓缩 + 蓄热式氧化炉（RTO） 的组合工艺脱颖而出，成为行业公认的高效、稳定达标路径。
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